EP系列等離子清洗機(jī)原理
在真空狀態(tài)下(約10~100Pa) ,給氣體施加電場,氣體在電場提供的能量下會由氣態(tài)轉(zhuǎn)變?yōu)榈入x子體狀態(tài)(也稱物質(zhì)的“第四態(tài)”)。其中含有大量的電子、離子、光子和各類自由基等活性粒子。
等離子體表面改性技術(shù)就是利用這些高能粒子和活性粒子與材料表面發(fā)生物理或化學(xué)的反應(yīng),從而達(dá)到改變材料表面性質(zhì)的目的。
技術(shù)參數(shù)
整機(jī)規(guī)格(W*D*H) | 1320mm*1030mm*1600mm | 1420mm*1100mm*1700mm | 1500mm*1100mm*1800mm |
腔體規(guī)格(W*D*H) | 400mm*450mm*400mm | 500mm*550mm*500mm | 600mm*650mm*600mm |
腔體容積 | 70L | 135L | 235L |
電極規(guī)格 | 內(nèi)置平板式電極,電極板間距 50mm,374mm*340mm(W*D),共 7 塊 | 內(nèi)置平板式電極,電極板間距 45mm,474mm*440mm(W*D),共 9塊 | 內(nèi)置平板式電極,電極板間距 45mm,574mm*540mm(W*D),共 11 塊 |
載物層數(shù) | 共 6 層 | 共 8 層 | 共 10 層 |
電源系統(tǒng) | 固態(tài)晶體管等離子發(fā)生源,40khz | ||
真空系統(tǒng) | 標(biāo)配:泵組(油泵+羅茨泵) | ||
控制系統(tǒng) | 觸摸屏+PLC 控制 | ||
進(jìn)氣系統(tǒng) | 標(biāo)配:1 路進(jìn)氣,1 路放空(可根據(jù)客戶需求增加進(jìn)氣路) |